表面粗糙度檢測儀（共聚焦顯微鏡）采用多孔共聚焦技術，結合ccd的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內量測物體的三維數據。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環境下測量，也可以用共聚焦顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴酷的工作環境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更量測物體高度，建立3d立體影像，優勢相當明顯。

精密測量、表面分析系統機臺功能齊全，結構緊湊，，并擁有超高光學分辨率和Zui全面廣泛的三維表面形貌分析能力。

表面粗糙度檢測儀應用 

表面粗糙度檢測儀(共聚焦顯微鏡)用來測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3d表面形貌、2d的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。 

1. 精密部件：檢測對表面磨損，表面粗糙度，表面微結構有要求的0部件，比如發動機汽缸、刀口等; 

2. 生命科學：測量stents支架上鍍層厚度等 

3. 微電子機械系統：微型器件的檢測，醫藥工程中組織結構的檢測，如基因芯片等 

4. 半導體：檢測微型電子系統，封裝及輔助產品結構設計 

5. 太陽能：電池片柵線的3d形貌表征、高寬比測量，制絨后3d形貌表征（單晶金字塔大小、數量、角度，多晶腐蝕坑形貌、密度），粗糙度分析等 

6. 紙張：紙張、錢幣表面三維形貌測量